精密機械加工主要有精車、精鏜、精銑、精磨和研磨等工藝。精銑：用于加工形狀復雜的鋁或鈹合金結構件。依靠機床的導軌和主軸的精度來獲得較高的相互位置精度。使用經仔細研磨的金剛石刀頭進行高速銑切可獲得準確的鏡面。

      研磨：利用配合件互研的原理對被加工表面上不規則的凸起部位進行選擇加工。磨粒直徑、切削力和切削熱均可準確控制，因而是精密加工技術中獲得高精度的加工方法。飛行器的精密伺服部件中的液壓或氣動配合件、動壓陀螺馬達的軸承*件都采用這種方法加工,以達到0.1甚至0.01微米的精度和0.005微米的微觀不平度。

      精磨：用于加工軸或孔類*件。這類*件多數采用淬硬鋼，有很高的硬度。大多數高精度磨床主軸采用靜壓或動壓液體軸承，以保證高穩定度。磨削的極限精度除受機床主軸和床身剛度的影響外，還與砂輪的選擇和平衡、工件中心孔的加工精度等因素有關。精磨可獲得 1微米的尺寸精度和0.5微米的不圓度